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型		COVOT-6-X5	COVOT-CR4
工作壓力區(qū)域		氣壓～10-1Pa	氣壓～10-6Pa
晶圓尺寸		200mm/300mm	200mm/300mm
持有的晶圓數(shù)量		4枚	2枚
最大范圍 *		880mm	1050mm
旋轉(zhuǎn)角度		360° 無窮	±180°
提升行程		110mm	120mm
最小旋轉(zhuǎn)直徑 *		980mm	960mm
有效載荷能力（包括手）		1kg	1kg
操作速度	伸縮式	Max 1.5sec / 全行程	最大限度　1.5sec/780mm
	把	Max 2.0sec / 180°	Max 2.0sec / 180°
	提升	Max 1.5sec / 20mm	Max 3.5sec / 105mm
可重復位置精度	伸縮式	±0.1mm	±0.1mm
	把	±0.1mm	±0.1mm
	提升	±0.1mm	±0.1mm
示教器		歸屬感	歸屬感
控制器		分開	分開

原裝現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科 COVOT-CR4 真空傳輸機器人
原裝現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科真空傳輸機器人

真空傳輸機器人
COVOT系列Model:COVOT

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