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產品型號:COVOT-6-X5
更新時間:2025-11-12
廠商性質:代理商
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COVOT-6-X5

COVOT-CR4
有多種臂可供選擇,以適應行程、轉彎半徑、傳輸板的數量等。
COVOT-CR4 由于其磁流體密封,可在 10-6 Pa 的高真空中使用。
| 型 | COVOT-6-X5 | COVOT-CR4 | |
| 工作壓力區域 | 氣壓~10-1Pa | 氣壓~10-6Pa | |
| 晶圓尺寸 | 200mm/300mm | 200mm/300mm | |
| 持有的晶圓數量 | 4枚 | 2枚 | |
| 最大范圍 * | 880mm | 1050mm | |
| 旋轉角度 | 360° 無窮 | ±180° | |
| 提升行程 | 110mm | 120mm | |
| 最小旋轉直徑 * | 980mm | 960mm | |
| 有效載荷能力(包括手) | 1kg | 1kg | |
| 操作速度 | 伸縮式 | Max 1.5sec / 全行程 | 最大限度 1.5sec/780mm |
| 把 | Max 2.0sec / 180° | Max 2.0sec / 180° | |
| 提升 | Max 1.5sec / 20mm | Max 3.5sec / 105mm | |
| 可重復位置精度 | 伸縮式 | ±0.1mm | ±0.1mm |
| 把 | ±0.1mm | ±0.1mm | |
| 提升 | ±0.1mm | ±0.1mm | |
| 示教器 | 歸屬感 | 歸屬感 | |
| 控制器 | 分開 | 分開 | |