日本EBABA荏原EV-M20N 高溫控制干式真空泵
日本EBABA荏原EV-M20N高溫控制干式真空泵

1. 半導(dǎo)體與電子行業(yè)

• 晶圓制造：用于化學(xué)氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）、刻蝕、離子注入等工藝，需高真空環(huán)境且避免油污污染晶圓。

• 封裝測(cè)試：在芯片封裝過(guò)程中提供真空環(huán)境，確保封裝密封性。

2. 平板顯示行業(yè)

• OLED/LCD 制造：用于沉積有機(jī)材料、濺射金屬電極等工藝，要求無(wú)油真空環(huán)境以保證顯示面板的純凈度。

3. 光伏行業(yè)

• 太陽(yáng)能電池生產(chǎn)：在 PECVD（等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）、擴(kuò)散爐等設(shè)備中提供真空，助力高效電池制造。

4. 化工與制藥行業(yè)

• 蒸餾與干燥：用于溶劑回收、真空干燥等工藝，避免腐蝕性氣體對(duì)泵體的損害。

• 原料藥生產(chǎn)：在真空環(huán)境下進(jìn)行結(jié)晶、分離等操作，滿(mǎn)足醫(yī)藥行業(yè)的高潔凈要求。

5. 食品與飲料行業(yè)

• 真空包裝：通過(guò)抽真空延長(zhǎng)食品保質(zhì)期，干式泵可避免油污污染食品。

• 濃縮與凍干：在真空濃縮果汁、冷凍干燥藥品等工藝中發(fā)揮作用。

6. 科研與分析儀器

• 質(zhì)譜儀：提供高真空環(huán)境，確保離子在無(wú)干擾的情況下到達(dá)檢測(cè)器。

• 電子顯微鏡：維持樣品室的高真空，保障成像質(zhì)量。

7. 汽車(chē)與機(jī)械制造

• 真空熱處理：在汽車(chē)零部件的淬火、退火等工藝中，防止氧化并提高材料性能。

• 真空成型：用于塑料部件的真空吸塑成型。

8. 電力與能源行業(yè)

• 變壓器真空浸漬：去除變壓器油中的水分和氣體，提高絕緣性能。

• 核工業(yè)：在核反應(yīng)堆的冷卻系統(tǒng)、氣體回收等環(huán)節(jié)提供真空支持。

9. 環(huán)境工程

• 真空過(guò)濾：處理工業(yè)廢水、污泥脫水等，高效分離固液成分。

• VOCs 回收：從工業(yè)廢氣中回收揮發(fā)性有機(jī)化合物，實(shí)現(xiàn)環(huán)保與資源再利用。

10. 其他領(lǐng)域

• 航空航天：模擬高空環(huán)境測(cè)試、衛(wèi)星組件檢漏等。

• 鍍膜行業(yè)：光學(xué)鏡片、太陽(yáng)能玻璃等的真空鍍膜工藝。