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產品型號：PR510
更新時間：2026-01-05
廠商性質：代理商
訪問量：42
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用于晶圓光刻膠的桶型高頻低溫等離子體
這是一臺標準型桶式低溫等離子設備。它是一款緊湊型桶式等離子處理設備，標配自動匹配機構，并采用觸摸屏（PR510），以提高操作性和安全性。
配備大直徑（φ215mm）石英腔室
緊湊型，集成振蕩器和腔室單元
易于操作的觸摸面板系統（PR510 型）
●光刻膠去除
●部件清洗
●表面活化處理
●微拋光
●兼容晶圓和玻璃基板
| 產品代碼 | 215012 |
|---|---|
| 模型 | PR510（質量流量計規格） |
| 方法 | DP槍管類型 |
| 控制單元高頻輸出 | 功率 500 瓦 |
| 控制單元振蕩頻率 | 13.56MHz |
| 控制單元同步方法 | 自動調校 |
| 反應段反應罐 | 由石英制成，直徑215毫米，厚度305毫米。 |
| 反應段反應氣體系統 | 2 個系統（O 2 /CF 4） |
| 反應段控制系統 | 觸摸面板自動序列 |
| 反應段管道材料 | SUS，特氟龍 |
| 外形尺寸和重量 | 請參閱規格說明 |
| 內部尺寸（直徑 x 深度） | φ215×305mm |
| 外部尺寸（寬 x 深 x 高） | 520×630×760毫米 |
| 功率容量 | 三相交流200V 8A 斷路器容量和15A電源容量 |
| 重量 | 70公斤 |
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