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ULVAC用于金屬薄膜生產的高通用性電子槍
產品簡介:

ULVAC EGL-80M 用于金屬薄膜生產的高通用性電子槍
ULVAC用于金屬薄膜生產的高通用性電子槍

產品型號:EGL-80M

更新時間:2025-11-12

廠商性質:代理商

訪問量:39

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ULVAC用于金屬薄膜生產的高通用性電子槍

ULVAC用于金屬薄膜生產的高通用性電子槍


適用于金屬薄膜生產的高通用性電子槍,擁有豐富的應用實例


電子槍
用于金屬的EB源_EGL系列
Model: EGL

ULVAC

EGL 系列電子束蒸發源是 ULVAC 多年技術積累和業績記錄的結果,旨在提高性能和可靠性。 EGL 系列擁有各種類型的噴槍陣容,可用于任意多層薄膜沉積、厚膜的高速沉積和超高真空實驗。
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    EGL-110

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    EGL-80M

特點

  • 由于電子束被電磁場偏轉,因此二次電子對沉積體的影響極小。

  • 即使是可升華的材料,也可以通過掃描 X 軸和 Y 軸上的光束點來順利蒸發,從而消除挖洞現象。 (日本國 831485 號 843447)

  • 電子束是 270° 偏轉的,因此不會暴露在蒸發材料的蒸氣中,燈絲的使用壽命長。

  • 發射器組件易于安裝和拆卸,便于更換燈絲、絕緣體等。

規格

ModelEGL-103SEGL-35EGL-35MEGL-110EGL-80M
電子束偏轉角270°
坩堝數量31414
坩堝容量10cc40cc40cc ×2/10cc×2110cc
坩堝尺寸: 頂部 × 底部× 深度35Φ×31Φ×11H(mm)50Φ×41Φ×25H(mm)50Φ×41Φ×25H(mm)/32Φ×24Φ×15H(mm)75Φ×59Φ×32H(mm)75Φ×57Φ×32H(mm)
冷卻水量爐邊10L/min 或更高19L/min 或更高20L/min 或更高
其他2L/min 或更高-2L/min 或更高4L/min 或更高
尺寸(W×D×H) 不包含突起313×250×108(mm)160×206×79(mm)170×240×156(mm)136×220×90(mm)265×318×168(mm)
質量約16公斤約10公斤約18公斤約15公斤約30公斤
沉積速率-1.8μm/min 或更高
(Al/8kW/ハ爐膛正
上方 250H)
1.6μm/min 或更高
(Al/8kW/爐膛正上方 250H)
4.5μm/min 或更高
(Al/16kW/爐膛正
上方 250H)
4μm/min 或更高
(A| 16kW,/爐膛正
上方 250H)
最大加速電壓-10kV
最大發射電流0.6A1.0A1.6A
適用電源HPS-1000N-100/HPS-1000N-200HPS-1600F-DS100/HPS-1600F-DS200HPS-1600F-DS101




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