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產品型號:EGL-35M
更新時間:2025-11-12
廠商性質:代理商
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EGL-103S

EGL-35

EGL-35M

EGL-110

EGL-80M
由于電子束被電磁場偏轉,因此二次電子對沉積體的影響極小。
即使是可升華的材料,也可以通過掃描 X 軸和 Y 軸上的光束點來順利蒸發,從而消除挖洞現象。 (日本國 831485 號 843447)
電子束是 270° 偏轉的,因此不會暴露在蒸發材料的蒸氣中,燈絲的使用壽命長。
發射器組件易于安裝和拆卸,便于更換燈絲、絕緣體等。
| Model | EGL-103S | EGL-35 | EGL-35M | EGL-110 | EGL-80M | |
| 電子束偏轉角 | 270° | |||||
| 坩堝數量 | 3 | 1 | 4 | 1 | 4 | |
| 坩堝容量 | 10cc | 40cc | 40cc ×2/10cc×2 | 110cc | ||
| 坩堝尺寸: 頂部 × 底部× 深度 | 35Φ×31Φ×11H(mm) | 50Φ×41Φ×25H(mm) | 50Φ×41Φ×25H(mm)/32Φ×24Φ×15H(mm) | 75Φ×59Φ×32H(mm) | 75Φ×57Φ×32H(mm) | |
| 冷卻水量 | 爐邊 | 10L/min 或更高 | 19L/min 或更高 | 20L/min 或更高 | ||
| 其他 | 2L/min 或更高 | - | 2L/min 或更高 | ー | 4L/min 或更高 | |
| 尺寸(W×D×H) 不包含突起 | 313×250×108(mm) | 160×206×79(mm) | 170×240×156(mm) | 136×220×90(mm) | 265×318×168(mm) | |
| 質量 | 約16公斤 | 約10公斤 | 約18公斤 | 約15公斤 | 約30公斤 | |
| 沉積速率 | - | 1.8μm/min 或更高 (Al/8kW/ハ爐膛正 上方 250H) | 1.6μm/min 或更高 (Al/8kW/爐膛正上方 250H) | 4.5μm/min 或更高 (Al/16kW/爐膛正 上方 250H) | 4μm/min 或更高 (A| 16kW,/爐膛正 上方 250H) | |
| 最大加速電壓 | -10kV | |||||
| 最大發射電流 | 0.6A | 1.0A | 1.6A | |||
| 適用電源 | HPS-1000N-100/HPS-1000N-200 | HPS-1600F-DS100/HPS-1600F-DS200 | HPS-1600F-DS101 | |||