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產品型號:DC-5-P/DC-10-P
更新時間:2025-11-12
廠商性質:代理商
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實現穩定反應濺射的直流脈沖電源
ULVA
通過抑制異常放電,可以輸入大功率。
減少電弧引起的基板損傷
輸出的振蕩頻率可設置為 5kHz 至 250kHz。
最多可并聯運行 6 臺(僅限同一型號的組合)
通過改變運行模式,也可以用作具有低電弧功能的直流電源。
| Model | DC-5-P | DC-10-P | |
| 輸入規格 | 輸入電壓 | 三相 AC208V | |
| 輸入電容 | 8kVA 或更低 | 13.5kVA 或更低 | |
| 輸出規格 | 最大額定功率 | 5kW | 10kW |
| 額定電流 | 12.5A | 25A | |
| 額定電壓 | 5k-150kHz:800V、155k-250kHz:650V | ||
| 振蕩頻率 | 5k-250kHz | ||
| 反向電壓脈沖寬度 | 0.4μ-5.0μs | ||
| 點火電壓 | 1500V | ||
| 控制 | 控制精度 | ±額定輸出的 0.5% 或設定值的 ±1% 或更低,以較大者為準。 | |
| 控制保修范圍 | 額定功率值的 10-100% | ||
| 外部控制 | Analog/Digital、通信(RS232C 或 RS485) | ||
| 并聯運行 | 有 | ||
| 冷卻方式 | 強制風冷 | ||
| 外形尺寸(W×D×H) 不包含突起 | 483×630×133(mm) | ||
| 質量 | 29kg | 36kg | |
| 適合規格 | CE、KC、SEMI F47、RoHS(歐洲) | ||