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現貨ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統
產品簡介:

現貨ULVAC日本愛發科 A2K-20K 脈沖和直流電源系統
現貨ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統

產品型號:A2K-20K

更新時間:2025-11-12

廠商性質:代理商

訪問量:21

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產品介紹

現貨ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統

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脈沖和直流電源系統
脈沖單元 _A2K系列
Model: A2K

ULVAC



A2K 系列作為直流電源的外部單元提供,是一種防止異常放電的單元,可將直流輸出轉換為脈沖輸出并中和目標上的電荷。
  • 現貨ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統

    A2KH-25U

  • 現貨ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統

    A2K-20K/40K

特點

  • 通過減少異常放電,可以輸入高功率。

  • 可以減少電弧引起的基板損傷。

  • 可連接現有設備 *1

  • A2KH-25U:1kHz ~ 20kHz,A2K-20K/40K:1kHz ~ 50kHz

  • 可同步多個A2K單元的輸出脈沖 *2 *3

  • A2K-20K 和 40K 最多可并聯運行 6 臺。

應用:脈沖同步系統

現貨ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統

當陰極在同一腔室中彼此靠近且陰極彼此相對時,或者當多個 A2K 的放電發生干擾時,可以通過將 A2K 的反向脈沖設置為同一相位來使用相位控制功能來防止放電的干擾 *3 *4


*1:可連接到我們的直流電源
*2:無法通過混合 A2KH-25U、A2K-20K 和 40K 進行脈沖同步和并聯操作
*3:A2KH-25U 需要外部同步單元 (PHSM/PHSS)
*4:A2K-20K/40K 需要光同步電纜(Pulse link 電纜)

規格

ModelA2KH-25UA2K-20KA2K-40K
控制電源輸入輸入電壓單相的 AC90-110V單相的 AC100-240V
輸入電容100VA 或更低400VA 或更低
輸入規格工作電壓-100~-800V
工作電流25A50A100A
額定輸入功率10kW20kW40kW
輸出規格振蕩頻率1k-20kHz1k-50kHz
反向電壓脈沖寬度5μs/10μs 通過內部開關切換3μ-18μs(振蕩頻率是有限的)
操作模式連續/1 脈沖/路徑
輸出格式Single Target
冷卻方式強制風冷
外形尺寸(W×D×H) 不包含突起238×450×149(mm)480×630×177(mm)
質量16kg30kg45kg
適合規格RoHS(歐洲)CE、KC、SEMI F47、RoHS(歐洲)



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