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產(chǎn)品型號：DIS-90
更新時間：2025-11-12
廠商性質：代理商
訪問量：30
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產(chǎn)品分類
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ULVAC
結構緊湊，排氣量大。
干式真空泵的最高壓力水平。
內(nèi)置自動復位型熱保護器等安全設計。
通過空氣沖洗抑制水分凝結。
分析設備
氣體回收系統(tǒng)
涂裝設備
TMP的背泵
氦氣檢漏儀
半導體制造工藝
| Unit | 50Hz | 60Hz | |
| 設計排氣速度度※1 | L/min | 90 | 108 |
| 極限壓力 | Pa (kPa) | 5 | |
| 使用電動機※2 | 單相, 100/115/200/230V, 150W, 4P 電容器啟動?運転 | ||
| 全負荷電流 | A | 2.6/1.3/1.6 | 2.1/2.2/1.1/1.1 |
| (100/200/230V) | (100/115/200/230V) | ||
| 重量 | kg | 14 | |
| 吸氣口徑 | KF-25 | ||
| 排氣口徑 | KF-16 | ||
| 使用環(huán)境溫度范圍 | ℃ | 5～40 | |
| 水蒸氣處理量 | g/day | ≦5 以下 （AF開時※3, 室溫25℃, 濕度60％以下） | |
| 噪音水平 | dB | ≦52 （AF開時※3, ≦57） | |
| 最大尺寸 | mm | 214(W)×308(L)×225(H) | |
| 型號 | 認證標準※ | ＣＥ自我宣言 | 1Φ 100V系 | 1Φ 200V系 | 3Φ 200V系 | 3Φ 400V系 |
| DIS-90 | cTUV | ● | ● （可以通過更換端子板切換） | － | － | |
１ | 粉末和生成物吸入會導致泵損壞。 請使用吸氣阱。 |
２ | 吸入有害氣體如爆炸性氣體，易*氣體，有毒氣體，腐蝕性氣體，有機溶劑氣體等，可能會因氣體本身，爆炸或火災而導致泵故障。 |
